Gigaphoton представила систему рециклинга неона с 50% восстановления

Японская Gigaphoton разработала систему hTGM для рециклинга неона в ArF-эксимерных лазерах с заявленной эффективностью 50%. Один модуль экономит до 470 килотонн неона в год, снижая зависимость от поставок, нарушенных после 2022 года.

• Система hTGM возвращает 50% неона в ArF-лазерах для DUV-литографии
• Один модуль экономит до 470 килотонн неона в год
• До 2022 года Украина поставляла до 50% неона для полупроводников
• Kanken Techno уже показала систему с эффективностью более 90%