Kyocera и Университет Тохоку встроили оптические изоляторы в кремниевые фотонные чипы

Kyocera и RIEC Университета Тохоку разработали технологию монолитной интеграции оптических изоляторов на кремниевые фотонные чипы с помощью локального лазерного отжига. Метод позволяет кристаллизовать магнитооптический гранат при ~600 °C, не повреждая электроды и соседние схемы; получен коэффициент изоляции 13,6 дБ.

• Лазерный отжиг нагревает только область изолятора размером около 700×700 мкм
• Коэффициент изоляции 13,6 дБ — обратное отражение снижено примерно на 95%
• Метод исключает нагрев всего чипа в печи и защищает электроды и оптику