Китайский стартап Langdao Silex показал прототип EUV-источника света

Шанхайский стартап Langdao Silex впервые представил прототип EUV-источника света на выставке China International Industry Fair 2026. Около 90% деталей прототипа — китайского производства, но до серийного выпуска, по словам сотрудников, ещё 3–5 лет.

• Прототип использует LPP-подход, как у ведущих поставщиков EUV-оборудования
• Около 90% компонентов прототипа сделаны в Китае
• FlintNano-LPP выдаёт более 15 Вт EUV при КПД выше 2%
• Серийные EUV-сканеры требуют сотни ватт мощности источника