FTCO и цифровые двойники ускорили симуляцию фотонных чипов

Предложен рабочий процесс Fab Technology Co-Optimization, объединяющий импорт GDS-топологии, 3D-моделирование процесса, FDTD на GPU, планирование экспериментов и ИИ-суррогатное моделирование. DOE направленного ответвителя из 25 комбинаций четырёх вариаций процесса на модели в 65 млн ячеек считается менее чем за 10 часов на одной рабочей станции с NVIDIA A100.

• Учтены вариации процесса: угол боковой стенки, CD-bias, толщина и шероховатость краёв
• DOE из 25 комбинаций четырёх вариаций процесса на 3D-модели в 65 млн ячеек
• Расчёт занимает менее 10 часов на одной рабочей станции с NVIDIA A100
• Цифровой двойник даёт неспециалистам доступ к связи процесса и характеристик