Россия создала первый литограф на 130 нм: отставание 25 лет

Зеленоградский нанотехнологический центр завершил третий этап НИОКР первого российского литографического степпера для пластин 200 мм по техпроцессу 130 нм. Устройство пока инженерный прототип, до серийного производства в лучшем случае около 2029 года; программа стоила около $70 млн, один степпер оценивается в $7,3 млн.

• Степпер ZNTC обрабатывает пластины 200 мм по техпроцессу 130 нм
• Стоимость одного степпера — около $7,3 млн, лазер — $600 тыс.
• Программа Минпромторга обошлась примерно в $70 млн
• Прототип сдан на пять месяцев позже срока, серийное производство — не раньше 2029 года