Сплав Pt-W предложен для тонких абсорберов EUV-масок High-NA

Учёные из Китайской академии наук, Цзилиньского университета и других организаций опубликовали работу о сплаве Pt-W как альтернативном низкоn-абсорбере для EUV-масок. Исследование оценивает плёночные свойства и качество изображения; статья вышла в iScience в августе 2026 года.

• Сплав Pt-W рассмотрен как низкоn-абсорбер для EUV-масок нового поколения
• Работа опубликована в iScience в августе 2026 года
• Оценены плёночные свойства и качество изображения абсорбера