Китайский институт CAS заявил о пути к 3-нм GAA без EUV через DUV
Институт Китайской академии наук (CAS) сообщил о прогрессе в разработке 3-нм техпроцесса GAA на оборудовании DUV без использования EUV. Технический руководитель нацпроекта 02 Special Тяньчунь Е представил маршрут на конференции IC WORLD.