Hyper-NA EUV может появиться к 2036 году

На конференции SPIE по литографии обсуждают Hyper-NA EUV — следующее поколение литографических систем после High-NA. Ожидаемый срок появления технологии — около 2036 года.

• Hyper-NA EUV называют следующим этапом после High-NA EUV
• Появление технологии ожидается примерно к 2036 году
• Тема обсуждается на конференции SPIE по литографии